《重大技术装备关键技术产业化实施方案》加紧布局

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在《重大技术装备关键技术产业化实施方案》中指出，在电子重大技术装备领域，重点研发12英寸及以上集成电路芯片用低能大束流离子注入机、化学机械抛光设备、激光消融设备、新一代电力电子器件制造用碳化硅高温离子注入机、高温金属有机化合物化学气相沉淀设备、八代以上面板用平板显示光刻机、LCD全自动模组生产线等。